洁净室内的气流是左右洁净室功能的重要要素，一般洁净室的气流速度是选0.25~0.5m/s之间，此气流速度属微风区域，易受人、机器等的动作而干扰趋于紊乱、虽进步风速可抑制此一打乱之影响而坚持 洁净度、但因风速的进步，将影响作业成本的添加，所以应在满足要求的洁净度水准之时，能以.适当的风速供给，以到达适当的风速供给以到达经济性效果。 

另一方面欲到达洁净室洁净度之稳定效果，均一气流之坚持亦为一重要要素，均一气流若无法坚持，表明风速有异，特别是在壁面，气流会延着壁面发作涡流效果，此时要实现高洁净度事实上很困难。

垂直层流式方向要坚持均一气流必须：(a)吹出面的风速不行有速度上的差异；(b)地板回风板吸入面之风速不行有速度上的差异。速度过低或过高(0.2m/s，0.7m/s)均有涡流之现象发作，而0.5m/s之速 度，气流则较均一，目前一般洁净室，其风速均取在0.25~0.5m/s之间。 

影响洁净室的气流要素很多，如制程设备、人员、洁净室拼装材、照明用具等，一起关于出产设备上方气流的分流点，亦应列入考虑要素。 

一般操作台或出产设备等表面的气流分流点，应设于洁净室空间与隔墙板间距2/3之处，如此可使作业人员作业时，气流可从制程区内部流向作业区，而将微尘带走；若分流点装备在制程区前方，将成为 不当的气流分流，此时大部份的气流将流至制程区之后，作业员操作所引起的尘土将被带到设备后边，作业台因而将遭到污染，良率也势必下降。 

洁净室的洁净度往往遭到气流的影响，换言之，即人、机器隔间、建筑结构等所产生的尘土之移动、分散遭到气流的分配。 

洁净室系使用hepa、ulpa过滤空气，其尘土的搜集率达99.97~99.99995%之多，因而通过此过滤器过滤的空气可说十分干净。然而洁净室内除了人以外，尚有机器等之发尘源，这些发作的尘土一旦分散， 即无法坚持洁净空间，因而必须使用气流将发作的尘土敏捷排出室外。 

洁净室内的作业桌等障碍物，在相接处均会有涡流现象发作，相对地在其邻近之洁净度将会较差，在作业桌面钻上回风孔，将使涡流现象减少.低；拼装资料之挑选是否恰当、设备布局是否完善，亦为 气流是否成为涡流现象之重要要素。